切削液过滤滤芯堵是什么原因？碳化硅切割切削液堵塞的方法

碳化硅是继第一代半导体Si、第二代半导体GaAs之后发展起来的重要的第三代半导体材料。第三代半导体技术应用将在节能减排、信息技术、国防三大领域催生上万亿元潜在市场，近年来迅速渗透到照明，电力器件，微波射频等领域的各个角落，市场规模快速提升，在新能源汽车、汽车用灯、通用照明、电动车、5G应用等领域有着广泛的应用市场，成为未来新能源发展的方向之一。

碳化硅具有宽禁带、高热导率、高击穿场强、高载流子饱和迁移速率等的特点。然而，碳化硅莫式硬度9.2，仅次于金刚石，导致碳化硅晶体切割难度相当大，切割过程中由于钻石线、切削液喷洒等的异常，容易导致切割出来碳化硅晶片、翘曲度、弯曲度、表面形貌均匀性很差，特别是由于切削液喷砂不均匀，导致钻石线与碳化硅晶棒出现干磨，容易导致钻石线出现断线，表面划痕加深，翘曲度、弯曲度等异常增大。

现有切割机的切削液桶结构主要是：回收桶和供给桶，中间加上滤芯。由于在切割过程中，钻石线和碳化硅晶棒相互摩擦，会出现很多胶状碳化硅粉和钻石线上脱落的钻石颗粒、镀层粘在一起，形成胶状的粘稠物，导致切削液上胶状的粘稠物经过滤芯时，把滤芯给堵住，从而使滤芯失去过滤作用或切削液流量变小等问题。

本公司的JHCS系列以及CA系列的沉降式离心，专门针对这个问题做出了解决方案，低成本，效果好。

该装置是针对现行电火花线切割切削液过滤装置存在易堵塞的缺陷，因为没有耗材，所以不存在被堵塞，具有结构简单、操作方便、成本低、过滤装置不易被不堵塞的特点。

解决了碳化硅在切割过程中由于切削液堵塞，流量变小，导致从喷嘴喷洒到碳化硅晶棒切削液不均匀的问题

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